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2015年12月28日，由深圳市民政局批準成立的深圳市太赫茲科技創新研究院正式掛牌。中國科學院院士劉盛綱，中國工程院院士劉永才，深圳市副市長陳彪，寶安區區長姚任，科技部國際科技合作計劃辦公室副主任趙剛、國內外著名學者等一批太赫茲領域專家出席了掛牌儀式。

深圳市太赫茲科技創新研究院是為了探索將國內外太赫茲先進研究成果進行成果轉化和產業孵化，促進深圳市經濟轉型升級及外貿增長的可持續發展，國內首個成立的唯一針對太赫茲研究與應用的高水平的國際化、專業化的民營非盈利性組織。深圳市太赫茲科技創新研究院設理事會，實行理事會領導下的院長負責制，中國科學院院士劉盛綱擔任首任院長。

深圳市太赫茲科技創新研究院研發內容涵蓋從電子學到光子學的30GHz-4THz范圍的太赫茲全方位的研究、開發。深圳市太赫茲研究院成立初期的研發方向主要包括三個方面：太赫茲人體安檢影像、太赫茲波譜生物檢測、太赫茲月球車通信與深空探測。

深圳市太赫茲科技創新研究院將作為在深圳召開的太赫茲系列國際會議論壇下面的一個常設機構，立足深圳，面向全球，旨在全球范圍內展開太赫茲應用方面的合作，引進全球優秀的太赫茲研發成果在深圳進行成果轉化和產業孵化，搭建起全球太赫茲研究與產業之間的橋梁，致力于將太赫茲產業打造成深圳市轉型升級的支柱產業。

深圳市太赫茲科技創新研究院由深圳市華訊方舟科技有限公司發起成立。華訊方舟從2010年開始涉足太赫茲的研究與產業化，截至2014年底，華訊方舟已經能夠進行750GHz的測試，在太赫茲源的獲取以及安檢成像應用研究方面處于國內先進水平。2014年12月，華訊方舟組建了以劉盛綱院士為首的專注于太赫茲研發的廣東省院士專家企業（華訊方舟）工作站。2015年8月，華訊方舟主導的“第一屆太赫茲科學與技術國際會議”在深圳成功舉辦。

世界范圍內的太赫茲產業發展尚不成熟，而深圳市在太赫茲領域的產業基礎處于國內領先地位，在推動太赫茲產業應用方面具有明顯的產業和市場優勢，此次深圳市太赫茲科技創新研究院的成立必將成為太赫茲發展史上的一座重要的里程碑。